在半导体晶圆、芯片微观缺陷检测场景中,可见光照明极易受材料色差、表面反光、表层遮挡干扰,难以识别隐裂、微小划痕、材质不均、内部杂质等低对比度缺陷。作为专业红外视觉光源生产厂家,浙江虹烁科技深耕SWIR短波红外成像领域,依托800-1700nm全波段红外光源定制能力,打造多波长、多结构、多功率的非标定制红外视觉照明方案,精准适配半导体大角度暗场、多方向斜入射高精度检测需求,填补工业精密检测细分场景照明短板。
不同于标准化通用光源产品,半导体检测对光源波段精度、出光均匀性、照明角度、控制灵活性有着极高的定制化要求。常规固定波长光源无法适配不同半导体基材、不同检测工序、不同缺陷类型的成像需求,极易出现漏检、误检、成像模糊等问题。虹烁科技聚焦行业痛点,主打SWIR红外光源非标定制服务,可全覆盖工业检测主流红外波段,包含850nm、905nm、940nm、1050nm、1064nm、1100nm、1150nm、1200nm、1300nm、1310nm、1350nm、1450nm、1500nm、1550nm、1650nm、1720nm等核心波长,支持单一定制波长、多波长组合定制,全方位匹配半导体、精密电子、材料检测、科研实验等差异化场景。
针对半导体微观缺陷检测的核心场景,虹烁科技1300nm二维圆形LED阵列定制光源方案,成为精密检测的核心标杆方案。该方案专为半导体大角度暗场、多方向斜入射照明研发,采用高密度二维圆形PCB阵列结构,搭配独立逐颗恒流驱动与单灯可控选通系统,彻底突破传统矩形阵列光源的照明局限。区别于常规光源固定照明模式,整套系统可实现任意单颗、多颗、分区LED独立点亮,精准完成360°全方向斜入射照明,完美适配晶圆微观缺陷、芯片表层瑕疵、内部结构差异的高精度成像检测,出光均匀性可达90%以上,从光源端大幅提升半导体检测良率。
波段精准定制是虹烁科技红外光源的核心优势。不同波长的SWIR红外光源,对应截然不同的检测适配场景:850nm、940nm通用近红外波段适配常规半导体外观瑕疵检测;905nm、1064nm高稳定性波段适配激光辅助精密检测;1300nm、1310nm核心短波红外波段,可穿透部分硅材料,精准识别晶圆内部隐裂、分层、杂质缺陷;1450nm波段适配半导体材料含水、材质差异检测;1550nm、1720nm长波红外波段则适配特殊半导体基材、厚层器件的深层缺陷检测。依托800-1700nm全波段覆盖能力,虹烁科技可根据客户被测物料、缺陷类型、成像设备参数,一对一匹配最优波长组合,杜绝波段适配不当导致的检测失效问题。
除核心波长定制外,虹烁科技完整实现光源结构、功率、控制模式的全维度非标定制,全方位适配工业现场与科研设备集成需求。结构层面,可提供线扫、面阵、点光源、同轴、条形、环形等多种形态,支持尺寸、外形、安装结构定制,适配狭小设备空间、大视场检测、多角度入射等特殊工况;功率层面,支持单灯1W/3W/4W多档位功率定制,匹配高速产线短曝光、远距离暗场照明需求,解决高帧率检测亮度不足的行业难题;控制层面,搭载高精度独立恒流驱动系统,恒流精度≤±1mA,支持无级调光,搭配≤1ms极速选通响应,可无缝对接自动化检测产线,适配动态扫描、分区检测、全域照明等多元工作模式。
工业级稳定性是非标定制光源落地量产的关键。虹烁科技所有定制SWIR红外光源均采用高导热铝基板PCB、独立散热结构与强弱电分区布线设计,搭配过流、过压、过热、反接多重保护电路,可实现7×24小时连续稳定工作,有效规避长时间工作带来的光衰、温漂、灯光闪烁等问题。同时,所有灯珠均经过分光分色精密筛选,批量波长偏差≤±10nm,保障批次产品一致性,满足半导体行业高标准量产检测需求。
当前半导体检测技术持续向高精度、微观化、智能化迭代,可见光照明的检测边界已然受限,SWIR短波红外非标定制光源,成为突破精密检测瓶颈的核心配套设备。作为深耕红外视觉领域的源头生产厂家,虹烁科技始终以场景需求为核心,依托800-1700nm全波段定制能力、软硬件全套自研技术,持续优化红外光源产品体系,为半导体设备厂商、自动化集成商、科研机构提供高适配、高稳定、高精度的非标红外视觉照明解决方案,助力工业精密检测产业升级。











